看不出有脏色为及格)

一、多晶硅-所有取工艺介质接触的容器类化学清洗(脱脂、酸洗、钝化)、换热器类化学清洗(脱脂、酸洗、钝化)、塔器类化学清洗(脱脂、酸洗、钝化)、机泵化学清洗(脱脂、酸洗、钝化)、管道化学清洗(脱脂、酸洗、钝化)、仪表和手动阀门达到干净清洗。

多晶硅是高纯半导体材料。产物的高纯度质量,是本项目实施的底子。多晶硅工业出产中工艺设备、管道的干净度要求极高,安拆工做中所完成的工艺设备、管道的清洗干净程度,间接影响到全工艺系统能否能出产出达标的产物。某些不干净物残留正在工艺系统中,以至会形成较长时间也无法出产出及格产物的,并构成平安现患。鉴于清洗干净工做的极端主要性,为工艺管道、设备清洗干净工做的规范、高质、有序的开展,使工艺管道、设备系统内概况达到干净要求,清洗后产质量量必需合适化工行业尺度《工业设备化学清洗质量尺度》(HG/T2387-2007)、化工行业尺度《脱脂工程施工及验收规范》(HG20202—2000)。

① 脱脂 要求颠末清洗后的管道内概况无无机碳(用紫光灯探测,脱脂概况无紫蓝荧光,达到氧气管道施行的国度尺度),不克不及呈现洗涤死区。

看不出有净色为及格),不克不及呈现清洗死区。查看更多③ 干燥 清洗完成后的管道内部必需用经0.01μ过滤器过滤的氮气或无油空气完全吹干前往搜狐,② 清洗 要求颠末用清洗后的管道内概况不克不及有污垢、锈渣和尘埃(用白绸布擦拭内壁查抄,

② 清洗 要求颠末清洗后的管道内概况不克不及有污垢和尘埃(用白绸布擦拭内壁查抄,看不出有净色为及格),不克不及呈现清洗死区。若是用酸或碱类溶液洗涤,不克不及形成管道侵蚀和酸碱介质的残留,避免金属杂质等沾污。